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[CSEAC 2022]盛美上海参展第十届中国半导体设备年会

2022-06-22 22:38:48


公司坚持差异化竞争和创新的发展战略,通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等,向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案,有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降


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作为国内设备行业权威交流平台,中国半导体设备年会在举办十周年之际,同期举办国产半导体装备、零部件成果展,本次展览参与企业百余家,展馆面积近五千平方,首次汇聚众多行业龙头企业,集中展示半导体专用设备,为打通产业链上下游提供良好机遇,当面对谈供需情况,知悉各类设备发展,不失为一场业界盛会。


除了展览展示半导体设备之外,本次年会还延续往年设置高峰论坛与专题论坛,聆听前沿技术发展与企业经验。高峰论坛邀请到吴汉明院士、储君浩院士、王序进院士、张汝京博士、王晖博士、李炜博士等行业专家倾情讲解当前产业发展趋势,分享从业经验。更有细分领域的专题论坛,设置制造工艺与半导体设备产业链联动发展论坛、半导体设备核心零部件配套新进展专题论坛、化合物装备与材料专题论坛、半导体设备与核心零部件产业投资论坛、新器件新工艺推动新设备新材料创新发展、求是缘专题论坛等,以供参会者学习。


本届半导体设备年会吸引了众多知名的厂商聚集,包括华润、华大半导体、ASM、北方华创、中微、盛美、上微、拓荆、江苏微导、东方晶源、思锐智能、上海陛通、哥瑞利等企业参与,覆盖产业链上下游,对接设备厂商与零部件企业,专业客户群体汇聚于此,欢迎大家参会交流。


第十届中国半导体设备年会(CSEAC)

时间:2022年7月27-29日

地点:无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

盛美半导体设备(上海)股份有限公司

展位号:B3-48

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盛美成立于2005年,是一家注册在上海浦东新区张江高科技园区、具备世界领先技术的半导体设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体,主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。

公司坚持差异化竞争和创新的发展战略,通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等,向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案,有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。

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网址:www.acmrcsh.com


产品展示

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SAPS单片清洗设备

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SAPS单片清洗设备在传统单片清洗设备配置的基础上加配公司自主研发的兆声波清洗技术(SAPS),主要针对平坦晶圆表面和深孔内的清洗工艺,专注于小颗粒的去除,在45nm 以下工艺有效解决刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题,清洗效率大大提升。


单片槽式组合清洗设备

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单片槽式组合清洗设备集成单腔体清洗模块和槽式清洗模块,将槽式去胶工艺与单片清洗工艺整合,相比传统单片清洗设备,可极大节约硫酸用量,清洗能力可和单片清洗设备相媲美。


后道先进封装电镀设备

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后道先进封装电镀设备针对先进封装电镀需求进行差异化开发,适用于大电流高速电镀应用,并采用模块化设计便于维护和控制,减少设备维护保养时间,提高设备使用率。可用于先进封装Pillar Bump、RDL、HD Fan-out和TSV 中,铜、镍、锡、银、金等电镀工艺。


立式炉管设备

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立式炉管设备可进行批次处理晶圆工艺,实现不同类型的非金属薄膜在晶圆表面的沉积工艺,主要是多晶硅,氮化硅,氧化硅等薄膜。该设备可用于逻辑电路和存储电路中前道工艺中的多晶硅,氮化硅,氧化硅薄膜沉积。


会议支持单位

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参会报名通道

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入场听会,免费观展

长按识别上方二维码提交报名内容,选择“论坛”报名(展区免费),实名填写参会人员信息,缴费,凭生成的二维码和个人纸质名片到现场办理证件入场。

团体报名,尽享优惠

团体人数≥5人可组团报名,每人优惠金额200元,请联系组委会会议注册负责人微信13585807781完成团队报名。

听会观展,多重福利

1、自助午餐和晚宴

2、会议手册一份

3、精美礼品一份

(以上福利请到现场签到处领取)

特别福利:团队报名30人以上,可以获得无锡市内免费专车接送。


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